Печь для отжига MILA 5000

МИНИ-ЛАМПОВЫЙ ОТЖИГАЛТЕР MILA 5000 Мини-ламповый отжигалтер Быстрая термическая обработка (RTO) стала важным методом нагрева для отжига полупроводников, ферроэлектриков и других тонкопленочных устройств. Но до недавнего времени для этой технологии быстрого нагрева/охлаждения были доступны только крупные и дорогостоящие производственные системы, что затрудняло проведение НИОКР, особенно на небольших образцах. Для решения этой задачи компания ADVANCE RIKO разработала миниламповый отжиматель ламп MILA-5000. Эта компактная настольная RTP-система построена вокруг ИК-печи с золотистым отражателем и содержит высокоточный контроллер температуры. Оснащенный дополнительным насосным оборудованием для впуска газа, MILA-5000 способен обеспечить те же характеристики, что и крупномасштабные установки RTP на небольших образцах при меньших размерах и стоимости.