Турбомолекулярный вакуумный насос UTM-FH, FW series

со смазкойодноуровневыйантикоррозионный

Обилие колебаний от 350 л/с до 6300 л/с в мире в целом (цифровой магнитоуправляемый тип подшипника). Поддержание стабильной производительности насоса в зависимости от изменений в работе насоса обратное давление (серия FH). Опциональная внутренняя система отопления для контроля температуры ротора и уменьшить адгезию побочных продуктов побочных реакций (серия FW). Отличная антикоррозионная обработка поверхности (исключая 3303FH) и 6300FH). Опциональная специальная обработка поверхности (например, никель) покрытие + электроосаждение катиона, специальная осажденная пленка, анодирование алюминия) доступны по мере необходимости. Устанавливается во всех направлениях. Система с переменной частотой вращения позволяет изменять скорость откачки в диапазоне от 25% до 100%. Нет никаких ограничений на комбинирование источника питания и насоса основное устройство для изменения длины кабеля благодаря использованию муфты свободная система и настройка свободной системы. Собственная выработка энергии за счет рекуперативной энергии используется для резервное электроснабжение при отключении электроэнергии с использованием безбатареи системы. Замена батареи не требуется. Встроенные функции мониторинга/самодиагностики и связи позволяет настроить централизованную систему мониторинга. Безопасность конструкции с поглощающей энергию разрушения конструкцией может уменьшить повреждение вакуумной системы при возникновении неполадок случилось с насосами. Высокая прочность и высокая надежность достигаются за счет следующих факторов эксперименты, такие как испытание на вдыхание воздуха, различные прикосновения испытания вниз, испытания на принудительное разрушение для ротора и посторонних предметов испытание на падение материала (падение Si-образных пластин).