Плазменный генератор для обработки поверхностей TruPlasma MW 1000

высокочастотныйавтономныйPECVD

Надежный, сверхмощный полупроводниковый генератор для плазмы максимальной плотности и самых строгих требований к технологии Генераторы TruPlasma серии MW базируются на технологии полупроводников и имеют намного более высокую точность поддержания частоты, чем микроволновые генераторы на базе магнетронов. Инновационная платформа позволяет более эффективно и рентабельно получать плазму максимальной плотности с соблюдением самых строгих требований к технологии. Кроме того, модульная система позволяет точное линейное измерение мощности на выходе. При этом энергопитание отличается стабильностью и это не оказывает негативного влияния на качество процесса. В производстве полупроводников, солнечных батарей и дисплеев TruPlasma серии MW показывает наилучший результат и максимальную надежность благодаря самым современным функциям. Инновационная подача импульсов в наносекундном диапазоне обеспечивает наилучший технический контроль производства плазмы. В многоантенных системах могут синфазно работать и запускаться импульсами различные генераторы. Колебание соотношений фаз между отельными генераторами позволяет добиться однородности плазмы на большой площади. Получайте преимущества от высокоточной цифровой частотной модуляции, благодаря которой возможны получение воспроизводимых результатов, слоев высокого качества и высокой производительности. Автоматическая настройка по частоте гарантирует оптимальный результат и высокую воспроизводимость. Положитесь на надежную работу генераторов — даже при неверной регулировке качество процессов не ухудшится.