Вакуумметр Пирани HPM 2002

пьезорезистивныйсо светодиодным индикаторомкомпактный

Отмеченный наградами широкодиапазонный вакуумметр серии 2002 с двумя датчиками выпускается в двух вариантах монтажа: на панель или на датчик. Двухдатчиковый вакуумметр HPM-2002 представляет собой прибор для монтажа на панель, оснащенный микропроцессорным блоком индикации, измерительной трубкой и соединительным кабелем. Два чувствительных элемента (микрообработанный датчик Пирани и пьезорезистивный датчик) обеспечивают точное измерение вакуума в 7 декадах давления от 1 X 10-4 до 1000 Торр. Алгоритм, заложенный в микропроцессор, обеспечивает плавный переход от одного датчика к другому. hPM-2002-OBE, вакуумметр с двумя датчиками, представляет собой версию манометра, монтируемую в систему. HPM-2002-OBE обладает всеми эксплуатационными характеристиками серии 2002 в компактной конфигурации с возможностью выбора из 12 вариантов вывода сигнала. Области применения Травление полупроводников Камера напыления Системы фиксации нагрузки Управление процессом и испытания Плазменное покрытие