Генератор озона с высокой концентрацией OG-5000 Series
для процессакомпактный

генератор озона с высокой концентрацией
генератор озона с высокой концентрацией
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Характеристика газа
с высокой концентрацией
Сфера применения
для процесса
Конфигурация
компактный
Расход

МАКС.: 20 l/min (5,283 us gal/min)

МИН.: 0,5 l/min (0,132 us gal/min)

Давление на выходе

МАКС.: 50 psi

МИН.: 15 psi

Производство озона

0,15 kg/h, 0,21 kg/h (0,331 lb/h)

Описание

Серия озоногенераторов OG-5000 предназначена для получения высоких концентраций ультрачистого озона для использования в полупроводниковых приложениях, включая CVD, тонкопленочные ALD, процессы роста оксидов и мокрую чистку стендов. Серия OG-5000 имеет компактный дизайн с водяным охлаждением, который легко интегрируется с контроллером озоновой системы Teledyne API, датчиками утечки озона, мониторами концентрации озона и разрушения озона. Проверенная технология делает его идеальным для широкого спектра полупроводниковых технологических применений. Особенности - Высокая чистота озона - Высокая концентрация озона - Низкая стоимость владения - Никаких расходных материалов - Компактный и модульный - Проверенная технология Полупроводник - Химическое осаждение из паровой фазы (ХОП) - Осаждение атомных слоев (ALD) - рост оксидов - Кондиционирование поверхности - Очистка от частиц - удаление фоторезиста - Ashing - Другие

---

Каталоги

OG-5000 Series
OG-5000 Series
2 Страницы
* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.