Генератор озона с высокой концентрацией OG-5000 Seriesдля процессакомпактный
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
Характеристики
- Характеристика газа
- с высокой концентрацией
- Сфера применения
- для процесса
- Конфигурация
- компактный
- Расход
МАКС.: 20 l/min (5,283 us gal/min)
МИН.: 0,5 l/min (0,132 us gal/min)
- Давление на выходе
МАКС.: 50 psi
МИН.: 15 psi
- Производство озона
0,15 kg/h, 0,21 kg/h (0,331 lb/h)
Описание
Серия озоногенераторов OG-5000 предназначена для получения высоких концентраций ультрачистого озона для использования в полупроводниковых приложениях, включая CVD, тонкопленочные ALD, процессы роста оксидов и мокрую чистку стендов.
Серия OG-5000 имеет компактный дизайн с водяным охлаждением, который легко интегрируется с контроллером озоновой системы Teledyne API, датчиками утечки озона, мониторами концентрации озона и разрушения озона. Проверенная технология делает его идеальным для широкого спектра полупроводниковых технологических применений.
Особенности
- Высокая чистота озона
- Высокая концентрация озона
- Низкая стоимость владения
- Никаких расходных материалов
- Компактный и модульный
- Проверенная технология
Полупроводник
- Химическое осаждение из паровой фазы (ХОП)
- Осаждение атомных слоев (ALD)
- рост оксидов
- Кондиционирование поверхности
- Очистка от частиц
- удаление фоторезиста
- Ashing
- Другие
---
Каталоги
OG-5000 Series
2 Страницы
* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.