Система позиционирования XYZ 782481:001.26

портальнаядля контроля полупроводниковых пластин и метрологиидля микроскопии

Портал XYZ AFM для контроля пластин, микроскопии | перемещение до 550 x 1550 мм | воздушный подшипник, шариковинтовая пара, ремень, шаговый двигатель Высокостабильный портал для АСМ на воздушном подшипнике с большим диапазоном перемещения Этот очень жесткий XYZ портал специально разработан для высокоточной атомно-силовой микроскопии (АСМ) для исследования особо крупных стеклянных образцов. Над U-образной платформой для образца находится подвижная консоль по оси Z для специализированного АСМ. Кантилевер может быть точно выровнен по образцу и перемещен в любую точку U-образной формы для получения рельефа поверхности. Воздушный подшипник обеспечивает превосходную точность позиционирования в плоскости. Максимальный вес образца составляет 500 кг. Атомная стабильность для сложных измерений - Идеально подходит для высокожестких и точных измерений без влияния вибрации - Высокая пропускная способность благодаря ходам 150 x 275 x 50 мм, с возможностью расширения до 550 x 1550 x 50 мм - Исключительная стабильность при остановке 5 нм и выше - Выдающийся долгий срок службы благодаря использованию неизнашиваемых воздушных подшипников Возможность расширения: - Интеграция дополнительных датчиков в процесс - Индивидуальная адаптация траекторий перемещения, комбинации длин, кабелей и системы управления - Ножки для дополнительной защиты от вибрации здания - Варианты исполнения для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Соединения для вытяжки - Специальная конфигурация для биотехнологий, медицинской техники, фармацевтики, полупроводников - Опционально с предварительно настроенным контроллером, включая образцовое программное обеспечение для немедленного использования