Машина для нанесения покрытий PVD RT-R2R-SP

с помощью магнетронного катодного распыленияс помощью пучка ионовтонких гидрофобных слоев

Устройство для нанесения покрытий MultiWeb обеспечивает следующие ключевые функции: A. Одна камера разделена на зоны с несколькими давлениями для размещения различных источников осаждения. B. Возможность одновременного нанесения из нескольких источников за один проход полотна для многослойного покрытия. C. Реверсивное направление наматывания полотна позволяет наносить неограниченное количество слоев без нарушения вакуума. D. Прецизионные механизмы обработки полотна с направляющей кромкой, позволяющие выполнять несколько проходов без потери выравнивания. (Необязательный) E. Система привода полотна AC Invert для точного управления несколькими скоростями полотна. F. Проточные оптические системы и / или системы контроля толщины сопротивления для контроля точной толщины и однородности наплавки. (Необязательный) G. Камера изготовлена ​​из нержавеющей стали SUS304L с компонентами с низким уровнем газовыделения для обеспечения более глубокого вакуума. H. Вакуумная откачка с помощью комбинации турбомолекулярного насоса и низкотемпературной криогенной техники для обеспечения чистого вакуума без попадания влаги или масла. ОТЛОЖЕНИЕ ПЛЕНКИ 1. Материал подложки: ПЭТ, ПЕН, ПЭС, ПИ, ПК, ПА, ТАС… Пленки. 2. Толщина подложки: 15 ~ 300 мкм. 3. Методы осаждения: реактивный для SiO2 переменный ток (диэлектрик); Импульсный постоянный ток для ITO (металл и проводник) 4. Оксидный проводник TCO: ITO, AZO, IZO… 5. Металлический проводник: Al, Cu, Mo, Ag… 6. Оптическая пленка: Ta2O5, Nb2O5, SiO2, TiO2… 7. Полупроводник: ZnO, InGaZnO… 8. Изолятор: SiO2, SiNx, AlOx, AlNx… 9. Равномерность: ± 5% по сети.