Машина для нанесения покрытий CVD RT-Parylene Coating-CVD-1

париленоваявакуумнаядля оптоэлектроники

Что parylene? Материал прозрачного и бесцветного полиэстера защитный. Соответствующее для покрытия вакуума на комнатной температуре, и давление покрытия вакуума под 10-5 торр., пока Parylene покрывая процесс около 0,1 торр. Толщину покрытия можно контролировать между 1-100 микронами. Покрытие патент начатый Соединенными Штатами в начале 1960-ых годов. Оно сперва было приложен к полю микроэлектронных компонентов для приборов плат с печатным монтажом США военных, космических и подводных старта, 1972 включенного в стандартах США военных внутри: MIL-I-46058C Микро- и nano технологический прочесс: низложение химического пара (CVD) Положите напудренные nano-материалы в камеру испарения оборудования nano-покрытия вакуума, и испаритесь в газообразные молекулы на температуре 150℃-180℃. Под действием вакуума (1.0*10-2torr), газообразные nanomolecules под 10nm включаются в трескать в треская камере, высокая температура на 680°C-700°C треснута в реактивные мономеры, и активные мономеры и мономеры re-полимеризованы для того чтобы сформировать плотный и pinhole свободный от слой nano-фильма.