Вакуумная машина для нанесения покрытий Multi950

PVDPECVDкатодным распылением

Свойства машины Мулти950: Компактный след ноги, Стандартное модульное проектирование, Гибкий, Надежный, Восьмиштырьковая камера, структура двери 2 для хорошего доступа, Процессы ПВД + ПЭКВД. Конструктивные особенности: 1. Гибкость: Дуга и катоды брызгать, монтажные фланцы источника иона унифицированы для гибкого обмена; 2. многосторонность: смогите депозировать разнообразие основных металлов и сплавов; оптически покрытия, трудные покрытия, мягкие покрытия, составные фильмы и твердые смазывая фильмы на металлических и неметаллических субстратах материалов. 3. прямодушный дизайн: структура двери 2, фронт & заднее отверстие для легкого обслуживания. Машина Мулти950 подгонянная система вакуумного напыления функций многократной цепи для НИОКР. С обсуждением половинного года с командой университета Шанхая освинцованной профессором Чен, мы в конце концов подтвердили дизайн и конфигурации для того чтобы выполнить их применения НИОКР. Эта система может депозировать прозрачный фильм ДЛК с процессом ПЭКВД, трудные покрытия на инструментах, и оптически фильм с брызгать катод. Основанный на этой пилотной идее проекта машины, мы начинали 3 других системы покрытия после после этого: 1. Двухполярное покрытие плиты для кораблей ФКЭВ1213 отсека топливного бака электрических, 2. керамический направьте покрытую медь ДПК1215, 3. гибкая система РТСП1215 брызгать.