Серия CCD электрический сверхвысокий вакуумный шиберный клапан
Применимый диапазон (Па) - 105~1.3×10-7
Скорость утечки газа (Па.Л/С) - ≤1,3×10-7
≤1.3×10-7
Обжарка клапана temperature(℃) - ≤150 (кроме приводного устройства)
Разность давлений при открытии пластин клапана (Па) - ≤3×103
Давление питания - AC220V/50Hz
Время включения или выключения S - ≤50
---