Печи CVD (Chemical Vapor Deposition) - это специальные печи, используемые в процессе CVD - технологии получения покрытий путем химических реакций в газовой фазе, например, из газа MTS (CH3SiCl3-метилтрихлорсилан).
Они предназначены для контролируемого осаждения материалов на поверхности обрабатываемых материалов.
Оборудование CVD содержит реакционную камеру, в которой контролируются такие параметры, как температура, давление и химический состав технологического газа.
CVD - это технология получения покрытий на поверхности подложек путем химических реакций в газовой фазе.
Процесс химического осаждения (CVD) используется, например, для получения защитных покрытий (сверление инструментов). В печи CVD создаются защитные слои на инструментах, повышающие их долговечность, прочность и эффективность обработки. В процессе CVD химические реакции позволяют осаждать слои на поверхности инструмента, улучшая его свойства. Такие покрытия обеспечивают лучшую устойчивость к истиранию, высоким температурам и агрессивным средам, что приводит к увеличению срока службы инструмента и повышению эффективности промышленного производства.
---