Ультратонкое боросиликатное стекло
SCHOTT MEMpax® - это боросиликатное стекло с огнеупорной полированной поверхностью. Оно имеет схожие химические и физические характеристики с известным продуктом
SCHOTT Borofloat® 33.
В то же время MEMpax® выпускается в гораздо меньшей толщине и представляет собой тонкую пластину, которую больше не нужно шлифовать и полировать благодаря превосходному качеству поверхности. SCHOTT MEMpax® можно использовать везде, где требуются очень тонкие боросиликатные стекла.
Коэффициент линейного теплового расширения MEMpax® соответствует коэффициенту линейного теплового расширения кремния, и это стекло идеально подходит для использования в анодном склеивании. Благодаря низкой автофлуоресценции, отличному качеству поверхности, плоскостности и однородности, возможности применения MEMpax® в микроэлектромеханических системах (MEMS) и биотехнологиях многочисленны.
Преимущества
Микроэлектромеханические системы (МЭМС)
- Коэффициент линейного теплового расширения соответствует коэффициенту линейного теплового расширения кремния
- Подходит для анодного соединения
- Тонкие пластины из боросиликатного стекла без полировки
- Высокая термическая и химическая стойкость
Биотехнология
- Высокое пропускание
- Доступны в различных толщинах
- Низкая автофлуоресценция
- Отличное качество поверхности
Технические данные
Размеры: от 2" до 12", круглые или прямоугольные
Шероховатость поверхности Ra : < 0,5 нм
Толщины* : 0.1 мм - 0,5 мм
Стандартные толщины* : 0.2 мм, 0,3 мм, 0,4 мм, 0,5 мм
Светопропускание ΤvD65 (толщина = 0,5 мм) : 92,9%
Коэффициент среднего линейного теплового расширения
α (20 °C; 300 °C) (статическое измерение) : 3,3 - 10-6 K-1
Температура трансформации Tg : 532 °C
Диэлектрическая проницаемость εr при 1 МГц : 4,8
Показатель преломления nD (по рисунку) : 1,4714
Плотность ρ (отожженный при 40 °C/ч) : 2,22 г/см3
---