Печь диффузии DOA-420

в виде шкафавысокотемпературнаяавтоматическая

Оборудование в основном используется для легирования и формирования Pn-переходов на кремниевых пластинах в процессе производства кристаллических кремниевых солнечных элементов. Подготовка кварцевой лодки и пластин→ Вставка пластин→ Загрузка пластин→ Выбор рецепта → Загрузка лодки→ Вакуумирование трубки→ Повышение температуры→ Ввод кислорода→ Ввод BBr3/BCL3→ Ввод Push in→ Обработка DOA→ Разгрузка лодки→ Охлаждение→ Тестирование→ Выгрузка пластин - Высокотемпературная диффузия бора. - BBr3、BCL3. - Запатентованная технология. - Уникальная двухслойно-вложенная структура топочной дверцы. - Запатентованная технология системы очистки выхлопных газов. - Высокоскоростной встроенный механизм толкания лодки модуля. - Интеллектуальное автоматическое управление. - Программное обеспечение MES с независимым правом интеллектуальной собственности. - Комплексные функции защиты от аварийной сигнализации, такие как предотвращение перегрева, поломки термопары и столкновения с лодкой. - Совместимость с решением S.C smart factory.