Универсальная поточная микрофокусная рентгеновская система формирования изображений
Рентгеновская трубка: Отражательный рентгеновский детектор: FPD
Система перемещения: XYZθ Точность перемещения: ±5 (±30 угловых секунд)
Пространственное разрешение: 3 мкм (2D) Точность измерения: 10 мкм
Ключевые параметры:
(1)Разрешение: 3μm
(2)Максимальное напряжение: 110kv
(3)Точность измерения: 5μm+L/50
Основные области применения:
(1)3C поле;
(2)полупроводники;
---