Система автоматизации процесса процесса WTA9000L/ul

Процесс : Адаптировать к М2 (156,75), М4 (161,75), G1 (158,75), М6 (166), М10 (182), М12 (210) и кремниевым пластинам толщиной 230 мм Совместимость с различными марками оборудования для текстурирования пластин и удаления PSG Особенности : Вход: Кассета или стопка Выход: виды кассет опциональное высокоточное взвешивание, определение трещин, размеров и фрагментов Дополнительный матч 5,6,8, 10 дорожек Опциональная поддержка MES-интерфейса и функции удаленной отладки Статистика OEE и анализ энергопотребления дополнительный интеллектуальный IGV-интерфейс