Система автоматизации процесса процесса WEA100000L/ul

Процесс : ● Адаптация к кремниевым пластинам M2 (156,75), M4 (161,75), G1 (158,75), M6 (166), M10 (182), M12 (210) и 230 мм ● Совместимость с различными марками оборудования для текстурирования пластин и удаления PSG Особенности : ● Вход: Кассета или стопка ● Выход: виды кассет ● Опционально высокоточное травление количество взвешивания мусора обнаружения, ламинирование обнаружения, флип ● Опционально матч 5, 6, 8, 10 полос ● Опционально поддержка MES интерфейса и удаленной отладки функции OEE статистики и анализа энергопотребления ● Опциональный интеллектуальный интерфейс IGV