Процесс :
Применить к пластинам размером 156/230
Совместимость с трубами PECVD различного размера и пластинчатым оборудованием PECVD
Особенности :
Погрузка и разгрузка ● Кассета или стопка
Погрузка и разгрузка: Кассета или стопка
Выход: графитовая лодка
мониторинг температуры на лодках
Обнаружение разницы цвета/ толщины пленки в режиме онлайн, обнаружение ПЛ, обнаружение обломков,
Обнаружение искажённой плёнки, флип
Дополнительная поддержка интерфейса MES и функция удаленной отладки
Интеллектуальная машина, статистика OEE и функция анализа энергопотребления
Стандартное определение температуры лодки, вертикальная стреляющая лодка, керамическая присоска,
одноканальный вакуум
дополнительный интеллектуальный IGV-интерфейс
---