● Применяется для пластин размера 156/230
● Совместимость с различными марками оборудования для диффузии пластин и различными размерами кварцевых лодочек
Особенности :
● Загрузка и выгрузка: Кассета
● Выход: кварцевая лодка
● Опционально онлайн квадратное сопротивление, обнаружение, тест гидрофильности, обнаружение отсутствующей части, и обнаружение части воды
● Дополнительная поддержка MES интерфейс и функция удаленной отладки
● Статистика OEE и анализ потребления энергии
● Керамический присос, керамический быстросъемный верхний редуктор
● Стандартный воздушный нож с ионным расщеплением
● Опционально поддерживается функция MES и функция удаленной диагностики
● Опциональный интеллектуальный интерфейс IGV
● Интеллектуальная машина, статистика OEE и функция анализа энергопотребления
---