Система автоматизации процесса процесса HIT

Процесс : Адаптировать к М2 (156,75), М4 (161,75), G1 (158,75), М6 (166), М10 (182), М12 (210) и кремниевым пластинам толщиной 230 мм Совместимость с трубами PECVD различного размера и пластинчатым оборудованием PECVD Подходит для HJT-процесса Особенности : Погрузка и разгрузка: Кассета Выход: графитовая коробка-носитель Дополнительный тест PL класс чистоты 1000 Функция автоматической очистки несущей платы Дополнительная поддержка функции MES и дистанционной диагностики дополнительный интеллектуальный IGV-интерфейс Интеллектуальная машина, статистика OEE и функция анализа энергопотребления