Система физической транспортировки паров PVA TePla (pvt) baSiC-T была специально разработана для выращивания кристаллов карбида кремния (SiC) путем сублимации исходного порошка при высоких температурах. Конструкция системы baSiC-T основана на модульной концепции и позволяет использовать субстраты (семена) диаметром до 6'''.
Печь для роста кристаллов SiC PVT нового поколения
Предназначен для применения в силовой электронике
высокий уровень автоматизации серийного производства
Доступно программное обеспечение Fab Management Software Решение
малая занимаемая площадь, компактное размещение
Доступно для 4'и 6'''
Индукционный нагрев с использованием проверенных на практике конструкций змеевиков
Низкое энергопотребление (стабильное управление при температуре ок. 10 кВт при температуре 2200 °C)
Мобильная концепция погрузки/разгрузки для горячей зоны
Превосходная система управления с функцией
интуитивное управление на высоком уровне автоматизации
визуализация процессов с расширенными возможностями анализа тенденций
автономное решение для настройки рецептов блюд с большим количеством вариантов рецептов по наборам параметров
долговременная регистрация данных процесса, долговременный поиск данных процесса
система управления и визуализация работают независимо друг от друга (концепция безопасности)
контуры управления системой, конфигурируемые с помощью наборов параметров
Концепция превосходной безопасности
соответствие СЕ
различный уровень компонентов безопасности системы обеспечивает безопасную эксплуатацию
качественные измерения и расширенная документация по качеству
Тесное сотрудничество с клиентами, институтами и поставщиками компонентов
---