Линейный датчик положения
бесконтактныйлазероптический

линейный датчик положения
линейный датчик положения
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Тип
линейный
Контактный / бесконтактный
бесконтактный
Технология
оптический, лазер
Выходной сигнал
цифровой
Другие характеристики
абсолютный
Диапазон измерений

5 m
(16'04" )

Описание

Pinpoint от Prodrive Technology предлагает высокоточное решение для измерения положения в системах точного перемещения. Pinpoint идеально подходит для (вакуумных) стадий, где важна высокая надежность и длительная эксплуатационная готовность. Наше решение имеет суб-наносекундную задержку синхронизации и абсолютное измерение положения. Мы сочетаем это с бескомпромиссными возможностями цифровой интеграции для бесшовной синхронизации между системой измерения и системой управления движением. Оптический опыт Prodrive обеспечивает инновационные интерферометрические решения, сфокусированные на снижении TCO (совокупной стоимости владения) для наших партнеров по OEM-оборудованию; снижение прямой стоимости систем при одновременном снижении затрат на эксплуатацию и техническое обслуживание. На протяжении более двух десятилетий Prodrive Technologies является партнером по исследованиям, разработкам и производству для полупроводниковой промышленности. Сочетая этот опыт с нашей надежной системой управления качеством, мы понимаем, что требуется для реализации точного копирования и контроля изменений, поддерживая наши решения от концепции до окончания срока службы и далее. Количество осей датчиков на MU - 1 - 6 Рабочее расстояние - 0 - 6000 мм Скорость перемещения цели - 0 - 1 м/с Разрешение датчика - 25 пм Повторяемость датчика - 200 пм (в условиях вакуума) Полоса пропускания измерений на ось - 40 МГц (оптическая) 5 МГц цифровой выход Стабильность сигнала (2,5 с) - 0,1 нм Тепловой дрейф - < 50 нм / C Режимы измерения и особенности Режим по умолчанию - одностороннее измерение относительного перемещения Дифференциальное измерение - включено Программное обеспечение функции наведения - Включено Измерение абсолютного расстояния - Включено; 20с Выравнивание датчика - вручную на головке датчика Выравнивание цели - Видимый лазер (600 нм)

---

Каталоги

Для этого товара не доступен ни один каталог.

Посмотреть все каталоги Prodrive Technologies
* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.