Генератор тока Bias

напряженияРЧ

Генератор сигналов смещения для систем радиочастотной плазмы Prodrive Technologies представляет революционный генератор сигналов смещения, обеспечивающий прямое управление распределением энергии ионов в оболочке при обработке плазмы. Выходная адаптированная форма волны обеспечивает независимый контроль тока и напряжения и измеряется в режиме реального времени. Такое прямое управление энергией ионов оболочки значительно повышает контроль и точность процессов травления и осаждения по сравнению с обычным радиочастотным смещением, позволяя настраивать распределение энергии ионов для обеспечения очень узкого распределения и устранения хвостов. Это приводит к оптимизации скорости процесса и максимальной селективности для чувствительных элементов. Это также снижает энергопотребление смещения, повышая эффективность системы по сравнению с традиционными технологиями. -Узкое распределение энергии ионов с устранением хвоста -Максимальный контроль условий смещения с мониторингом формы волны в реальном времени -Быстрая интеграция с традиционными радиочастотными системами -Собственная автонастройка формы волны Видео смещения плазменного генератора В этом видео схематически показано, как работает адаптированное смещение формы волны.