Профилометр для измерения шероховатости поверхности Micro.View

оптический3Dинтерферометрический

Обзор
Компактный оптический 3D‑профилометр (платформа Micro.View) для бесконтактного измерения шероховатости и топографии поверхности. Разработан как стартовая оптическая альтернатива стилообразным (контактным) системам и подходит для матовых и сильно отражающих компонентов.

Ключевые моменты

• Оценка шероховатости по ISO: R‑параметры (профиль) и S‑параметры (площадь)
• Компактный настольный корпус для лабораторий и ОТК
• Опционально: автоматизированная моторизованная XY‑сцена (ход 75 мм в версии Advanced)
• Возможности апгрейда и трейд‑ин

Преимущества

• Полномасштабная 3D‑площадная метрология (Sa, Sq, Sz и т.д.) наряду с классическими 2D‑параметрами профиля (Ra, Rz…)
• Бесконтактное оптическое измерение предотвращает повреждение поверхности и фиксирует полную топографию
• Встроенные технологии сканирования (коррелограммная оценка и SST/CST) для надёжных сканов отражающих, тёмных, низкоконтрастных или прозрачных материалов
• Вертикальное разрешение субнанометрового уровня и низкий уровень шума измерений

Применения / Типичные случаи

• Замена или апгрейд контактных зондовых приборов на оптические профильметры для более полной оценки структуры поверхности
• Лаборатории контроля качества, требующие соответствия площадным стандартам (ISO 25178)
• Измерение чувствительных или мягких поверхностей без повреждений
• Раннее и более надёжное выявление функциональных проблем поверхности с помощью площадных данных
• Быстрое измерение площадей для производства и НИОКР

Конфигурации и особенности продукта

• Поставляется в преднастроенных конфигурациях Roughness Tester на базе платформы Micro.View для оптимизации начальной цены и производительности
• Датчик с возможностью субнм вертикального разрешения и 5‑позиционной револьверной турелью объективов
• Компактная основа с интегрированной виброизоляцией
• Стандартный объектив 10× в комплекте; дополнительные объективы по опции
• Программное обеспечение для оценки шероховатости в соответствии с промышленными стандартами (ISO 25178, ISO 4287, ISO 4288, ISO 21920, ASME B46.1)

Опции — Basic vs Advanced

• Базовая версия (Basic): бюджетный профильметр для стандартных деталей и простых проверок шероховатости. Встроенная ручная платформа tip/tilt для выравнивания образца.
• Продвинутая версия (Advanced): рекомендуется для образцов среднего размера и задач автоматизации. Включает моторизованную XY‑платформу с ходом 75 мм (x и y) и ручной tip/tilt. Обеспечивает воспроизводимое выравнивание и True Stitching для расширения области измерения.

Технические характеристики
Параметры топографии поверхности — Вертикальный диапазон (позиционирование и измерение): 100 мм
Шум измерения: < 0.6 нм
Повторяемость: < 0.2 нм
Измерение — Отражательная способность образца: 0,05–100 %
Площадь измерения (с объективом 10×): 0.79 мм × 0.58 мм
Максимальная площадь измерения с True Stitching (10×): 171 мм²
Шаг точек измерения (10×): 0.59 мкм
Точек данных: 1 352 000 (эффективных пикселей)
Позиционирование образца — Размер стола: 140 мм × 140 мм
XY‑стол: Basic: нет; Advanced: моторизованный ход 75 мм (x и y)
Платформа tip/tilt: ручная
Программное обеспечение — Параметры оценки по стандартам: ISO 25178, ISO 4287, ISO 13565, ISO 21920, ASME B46.1
Функции автоматизации: рецепты измерений и оценок; True Stitching (с моторизованным XY‑столом)

Загрузки и дополнительные материалы
Технический лист и whitepaper доступны на странице продукта (названия файлов указаны на сайте).