Пластина нанопозиционирования XYZ P-561, P-562, P-563 series
пьезоэлектрическаявысокой точностис фрикционной проводкой

пластина нанопозиционирования XYZ
пластина нанопозиционирования XYZ
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Направление
XYZ
Другие характеристики
высокой точности, с фрикционной проводкой, низковакуумная
Ход

15 µm, 45 µm, 100 µm, 200 µm, 300 µm

Описание

- Параллельная кинематика / метрология для повышения чувствительности и точности измерений по нескольким осям - Диапазон перемещения до 300 x 300 x 300 x 300 мкм - Высочайшая линейность и стабильность благодаря емкостным датчикам - Без трения, высокоточная система управления изгибом без трения - Превосходная плоскостность сканирования - Доступна высокодинамичная версия XYZ - Отверстие 66 мм x 66 мм - Превосходный срок службы благодаря пьезоэлектроприводам PICMA® - Версии UHV до 10-9 гПа Превосходный срок службы благодаря пьезоэлектрическим приводам PICMA® Запатентованные пьезоэлектроприводы PICMA® имеют полностью керамическую изоляцию. Это защищает их от влажности и повреждения в результате увеличения тока утечки. Электроприводы PICMA® имеют срок службы, в десять раз превышающий срок службы обычных электроприводов с полимерной изоляцией. 100 миллиардов циклов без единого отказа доказано. Высокая точность управления благодаря направляющим с нулевой люфтностью изгиба Направляющие не требуют технического обслуживания, трения и износа, не требуют смазки. Их жесткость обеспечивает высокую грузоподъемность и нечувствительность к ударам и вибрации. Они на 100% совместимы с вакуумом и работают в широком диапазоне температур. Высокая точность отслеживания в нанометровом диапазоне благодаря параллельному измерению положения Все степени свободы измеряются по одной фиксированной ссылке. Нежелательные перекрестные наводки движения на другую ось могут быть активно компенсированы в реальном времени (в зависимости от ширины полосы пропускания) (активная направляющая). Высокая точность отслеживания достигается в нанометровом диапазоне даже в динамическом режиме.

---

Каталоги

Для этого товара не доступен ни один каталог.

Посмотреть все каталоги Physik Instrumente

Другие изделия Physik Instrumente

Multi-Axis Piezo Flexure Stages

* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.