Система наблюдения для чистого помещения APR 4300

окружающей среды

APR 4300 обеззараживает 300-миллиметровые пластины и их транспортные коробки (FOUP) на молекулярном уровне и защищает их во время очереди. Надежная дезактивация и защита от загрязнения APR - это система для обеззараживания пластин и защиты во время очереди. Воздушно-молекулярное загрязнение (сокращенно AMC) снижает выход и качество при производстве полупроводников. APR эффективно предотвращает адсорбцию загрязненных органических или неорганических молекул на поверхности полупроводниковой пластины и транспортной коробки. Благодаря эвакуации камер в APR, вероятность адсорбции значительно снижается. Таким образом можно значительно увеличить выход продукции и оптимизировать время очереди между отдельными этапами процесса. Как работает АПР? FOUP может быть доставлен как вручную, так и через подвесной подъемник (OHT) на двух грузовых портах. APR - это система с четырьмя уложенными вакуумными камерами для дезактивации пластин и FOUP, которая подается с помощью надежного робота. Все камеры оснащены вакуумной насосной станцией, газовым баллоном, панелью управления и блоком управления с электропитанием. Камеры могут работать по отдельности. После загрузки камеры FOUP, содержащей пластины, давление в камере снижается до < 0,1 мбар. Затем применяется процесс обеззараживания. После этого камера очищается чистым азотом и возвращается к атмосферному давлению. Теперь пластины и транспортная коробка защищены от загрязнения более чем на один день.