Сухие насосы серии A3P снижают эксплуатационные расходы
Передовая технология с высокой энергоэффективностью для процессов средней загрузки
С насосами серии A3P компания Pfeiffer Vacuum предлагает серию насосов из трех моделей, которые отличаются значительным снижением эксплуатационных расходов. По сравнению с предыдущими моделями насосов возможна экономия энергии до 50%. В насосах интегрированы самые современные знания о пригодности к технологическим процессам. Кроме того, благодаря компактной конструкции они позволяют экономить до 50% места по сравнению с предыдущими насосами.
Преимущества
- Низкие эксплуатационные расходы
- Малые габариты
- Легкий вес для более простой сборки
- Высокая надежность в эксплуатации в условиях средней нагрузки
- Совместимость с требованиями к производству полупроводников
Заявления
- Полупроводниковая промышленность (травление, имплантаты, PVD, ...)
- фотоэлектрический
Сухие насосы для полупроводниковой промышленности
Сухие насосы серии A3P основаны на проверенной многоступенчатой технологии Roots. Внутренняя часть насосов устойчива к воздействию агрессивных газов. По этой причине насосы обладают высокой надежностью при работе в условиях средних нагрузок. Три имеющиеся модели этой серии предлагают широкий спектр скоростей откачки и, таким образом, удовлетворяют большинству требований, предъявляемых к вакуумным насосам для средних режимов работы в полупроводниковой промышленности. Серия A3P подходит для работы в чистых помещениях и соответствует стандартам CE и Semi S2.
---