AMPC является идеальным решением для мониторинга чистых помещений и передних модулей оборудования (EFEM).
Воздушно-молекулярное загрязнение (AMC) на заводах по производству ИС известно как основной фактор потери урожая. Чтобы контролировать и понимать, откуда приходит загрязнение, Pfeiffer Vacuum теперь приносит на рынок полупроводников уникальное решение для мониторинга чистых помещений, а также EFEM (передний модуль оборудования).
Клиентская выгода
- Измерение соединений в реальном времени (кислоты, основания, органические соединения)
- Инновационное программное обеспечение для управления приоритетом линий отбора проб, проверки качества (КК) и аварийных сигналов
- 96 линий пробоотбора, собранных на одном инструменте (до восьми анализаторов)
- Высокая пропускная способность (анализ и очистка в течение трех минут)
- Никакого перекрестного загрязнения с одной линии отбора проб на другую
AMPC собирает самые современные анализаторы для обнаружения и количественного определения кислот, щелочей и органических соединений в 96 местах на заводе благодаря инновационной и интегрированной конструкции клапанов.
Линейка AMPC включает в себя два инструмента: AMPC S и AMPC L, где внешние размеры, количество линий и опций различны
Кроме того, рамка расширения AMPC предоставляет 39 U пространства для дополнительных анализаторов. Она может быть использована для модернизации существующих блоков AMPC или добавления к новым блокам AMPC S и AMPC L.
---