Оптический профилометр UA3P series

3Dинтерферометрическийатомно-силовая

Серия профилометров Panasonic UA3P предназначена для измерения асферических линз и пресс-форм, полупроводниковых пластин и любых других прецизионных компонентов, требующих точности нанометрового уровня в диапазоне до 200 мм x 200 мм. Доступны различные модели машин для удовлетворения ваших потребностей в оптике и метрологии с высоким соотношением сторон. UA3P-300, UA3P-4 и UA3P-5 предлагают пользователям точность технологии АСМ с диапазоном измерений КИМ. Наш уникальный подход использует технологию атомно-силового датчика в щупе и интерферометрическое позиционирование по оси XYZ на основе гелий-неонового лазера. Сочетание этой технологии с прочным гранитным основанием позволяет получить надежную метрологическую систему, которая может использоваться на производстве и при этом обеспечивать суммарную неопределенность на уровне 0,1um. - UA3P может измерять асферические линзы, зеркала свободной формы и их формы, которые необходимы для цифровой потребительской электроники, такой как мобильные телефоны, DSC, DVD и Blu-ray рекордеры, а также для домашней безопасности, оптических коммуникаций и транспортных средств - Сверхточные измерения всего за 3 минуты - Автоматическая генерация программ ЧПУ - Обширная библиотека дополнительного программного обеспечения - Простое управление поддерживает быструю обратную связь с процессом обработки Внешние размеры (Ш x Г x В) мм 700 x 780 x 1,500 Масса основного корпуса 700 кг (другие: 150 кг) Диапазон измерений (оси X, Y, Z) мм 30x30x20 Площадь размещения измеряемого объекта (по осям X, Y, Z) мм 100x100x100 Измерительный зонд AFP Разрешение 0.3 нм Макс. Угол наклона для измерения верхней поверхности 75º Точность измерения с помощью зонда для измерения верхней поверхности 30° макс.: ±0,05 мкм (туда и обратно) 45° макс.: ±0,08 мкм (туда и обратно) 60° макс.: ±0,15 мкм (туда и обратно) 70° макс.: ±0,15 мкм (назад) *При использовании стандартного рубинового или керамического стилуса