JC680 Анти-взрывной высокотемпературный передатчик давления Введение
Для общего пьезорезистивного датчика давления четыре резистора чувствительного моста Уитстоуна для контроля и измерений производятся с использованием технологии ИС. Резисторы изолированы друг от друга с помощью PN-перехода. Самая высокая рабочая температура составляет всего 125℃ из-за ограничения термостойкости PN-перехода. Тем не менее, производительность датчика значительно ухудшилась после того, как температура поднялась выше 100℃, так как утечка обратного тока в PN-переходе возрастает с увеличением показателя температуры, что ограничивает температурный диапазон, доступный для обычного пьезорезистивного датчика. Использование толстопленочной технологии, чтобы сделать резистор считывания усилия может расширить рабочую температуру до 125 ℃; использование мульти-кристаллического кремния SOI технологии, чтобы сделать резистор считывания усилия может расширить рабочую температуру до 150 ℃; использование традиционной технологии SOS и передовых технологий SOI может расширить рабочую температуру до 180 ° C - 350 ° C. Использование новейшей β-фазной высокотемпературной силы-чувствительный материал SiC, в сочетании с технологией SOI может расширить рабочую температуру до 450℃ ~ 850℃. Анти-взрывной высокотемпературный датчик давления JC680 собирается с помощью строгого процесса с использованием передовых международных датчиков, поддерживаемых высокоточными электронными элементами.
---