Высокоточная бесконтактная измерительная система
- Обеспечивает сверхвысокую точность с линейностью ±0,5 мкм во всем диапазоне измерений (от 0,05 мм до 10 мм) и ±(0,3+0,1ΔD) мкм в узком диапазоне.
- Сверхвысокая повторяемость ±0,04 мкм.
- Высокая скорость сканирования 3200 сканов/с
---