Датчик расхода MEMS MSH01

из кремнияобъемныймассовый

Чувствительный датчик расхода основан на принципе теплопередачи. Структура датчика состоит из источника микротепла, расположенного на чувствительной пленке, датчика температуры восходящего потока и датчика температуры нисходящего потока, симметричных относительно источника микротепла, и датчика температуры окружающей среды, расположенного на кремниевом основании. При отсутствии потока жидкости на поверхности датчика температурное поле вокруг источника микронагрева распределено симметрично, как на рис. (a); при наличии потока жидкости на поверхности датчика температурное поле вокруг источника микронагрева нарушается из-за охлаждающего эффекта жидкости на источник микронагрева, и температурное поле выше и ниже по потоку от источника микронагрева распределено асимметрично, как на рис. (b); чем больше скорость потока жидкости, тем больше скорость потока газа, уносимого от источника микротепла, и асимметрия больше. Скорость потока жидкости определяется по разности температур между датчиками температуры выше и ниже по потоку. - Широкий диапазон соотношения>300:1 - Быстрое время отклика<5 мс - Сверхнизкий начальный расход <0,05 м/с - Высокая чувствительность и точность Точность считывания более +/-3% - Неподвижные части, высокая надежность - Подходит для чистых газов и жидкостей - Медицинское респираторное, диагностическое оборудование - Управление топливными элементами - Автомобильные расходомеры воздуха - Бытовое газовое оборудование - Масс-спектрометрический анализатор газовой и жидкостной хроматографии - HVAC - Детектор утечек - Промышленная автоматика