отжиг, закалка, сушка, нанесение защитного слоя на поверхность
Термообраобтка кремниевых пластин в атмосфере защитного газа
Другие возможные области применения:
Сушка и термообработка порошка, гранулятов, металлов…
ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ К ИЗДЕЛИЮ
Важные характеристики:
Электрический нагрев 2 зон
Измерение остаточного кислорода
Быстрое охлаждение
Электрополированная камера из нержавеющей стали (1.4301)
Барботер (Ar, N2)
Нагрев благодаря трубчатым нагревательным элементам
Мощность нагрева ок.... 5 кВт
Точность температуры +/-3k
Циркуляция газа