Оптический профилометр Zeta™-388

3Dс интерферометрией белого светадля измерения шероховатости

Оптически профилировщик Zeta-388 внеконтактное, измерительная система топографии поверхности 3D. Строения Zeta-388 на возможности Zeta-300 с дополнением обработчика кассет-к-кассеты для полностью автоматизированных измерений. Система приведена в действие запатентованной технологией ZDot™ и мультимодной оптикой, включающ измерение разнообразие образцов: прозрачный и непрозрачный, низкий к высокому отражению, приглаживайте к грубой текстуре, и высотам шага от нанометра к миллиметрам. Zeta-388 интегрирует 6 различных оптически технологий метрологии в одной конфигурируемой и легкой в использовании системе. Режим измерения ZDot™ одновременно собирает развертку высоко-разрешения 3D и изображение фокуса истинного цвета бесконечное. Другие методы измерения 3D включают микроскопию контраста интерферометрии белого света, взаимодействия Nomarski, и режа интерферометрию. Толщину фильма можно измерить с ZDot или интегрированным широкополосным рефлектометром. Zeta-388 также лидирующий микроскоп который можно использовать для обзора образца или автоматизированного осмотра дефекта. Zeta-388 поддерживает и НИОКР и окружающие среды продукта путем обеспечивать всесторонние высоту шага, шершавость, и измерения толщины фильма, возможность осмотра дефекта, и регуляцию вафли кассет-к-кассеты.