Измерительная система с лазером ATL™

режим реального времени

Накладные метрологические системы Метрологическая система наложения ATL100™ (Accurate Tunable Laser) на основе скаттерометрии обеспечивает контроль наложения для разработки и крупносерийного производства на узлах проектирования ≤7 нм. Технология перестраиваемого лазера с разрешением 1 нм в сочетании с системой Homing™ в реальном времени обеспечивает высокую точность наложения в условиях вариаций производственного процесса. ATL100 поддерживает разнообразные конструкции мишеней для измерения наложений с помощью скаттерометрии, в том числе в кристалле и с малым шагом, обеспечивая точное измерение погрешности наложений для различных технологических слоев, типов устройств, узлов проектирования и технологий шаблонирования. Области применения Контроль наложения на изделии, мониторинг на линии, квалификация сканера, контроль шаблонов, измерения в матрице Сопутствующие продукты Archer: Системы метрологии наложения на основе изображений, обеспечивающие высокую точность измерений наложения для разработки и крупносерийного производства на узлах проектирования ≤1Xnm.