Оптический профилометр Tencor™ P-17

3Dсо щупомдля анализа тонких слоев

Tencor P-17 - это настольный щуповой профилометр восьмого поколения, созданный на основе более чем 40-летнего опыта в области метрологии поверхности. Эта ведущая в отрасли система поддерживает 2D и 3D измерения высоты шага, шероховатости, носовой части и напряжения для сканирования до 200 мм без сшивания. Отличная стабильность измерений достигается благодаря сочетанию датчика UltraLite®, постоянного контроля усилия и сверхплоского сканирующего стола. Настройка рецепта выполняется быстро и легко благодаря элементам управления этапом, оптике верхнего и бокового обзора и камере высокого разрешения с оптическим зумом. Профилометр Tencor P-17 поддерживает 2D или 3D измерения, с различными алгоритмами фильтрации, выравнивания и анализа для количественной оценки рельефа поверхности. Полностью автоматизированные измерения достигаются с помощью распознавания образов, последовательности и обнаружения признаков. Характеристики - Высота шага: Нанометры до 1000 мкм - Низкая сила с постоянным контролем силы: от 0,03 до 50 мг - Сканирование всего диаметра образца без сшивания - Видео: 5MP цветная камера высокого разрешения - Коррекция дуги: Устраняет ошибку, связанную с дуговым движением щупа - Программное обеспечение: Простой в использовании программный интерфейс - Производственные возможности: Полная автоматизация с секвенированием, распознаванием образов и SECS/GEM Области применения - Высота шага: 2D и 3D высота шага - Текстура: 2D и 3D шероховатость и волнистость - Форма: 2D и 3D дуга и форма - Напряжение: 2D и 3D напряжение тонкой пленки - Обзор дефектов: 2D и 3D топография поверхности дефекта