WaferSight™
Геометрические метрологические системы для голых пластин
Система геометрической метрологии голых пластин WaferSight™ 2+ квалифицирует полированные и эпитаксиальные кремниевые пластины, а также спроектированные и другие усовершенствованные подложки для производителей пластин. Производя плоскостность полупроводниковых пластин, двухстороннюю нанотопографию и данные о скатывании кромок с высоким разрешением, WaferSight 2+ выдает данные, которые помогают производителям полупроводниковых пластин обеспечить серийное производство высококачественных подложек.
Заявления
Мониторинг и контроль технологического процесса пластин, контроль качества исходящих пластин
---