В Z-клиновом этапе Nanomotion используются скрещенные роликовые подшипники, расположенные под наклоном, чтобы приводить в движение центральный клин через верхнюю и нижнюю пластины, соединенные вместе. Это горизонтальное движение приводит к чисто вертикальному перемещению верхней поверхности стола. Использование Z-образной конфигурации клина облегчает доступ по всей поверхности и со всех сторон. Линейное кодирование положения выполняется непосредственно на вертикальном перемещении, исключая любые ошибки, связанные с углом клина.
---