Микроскоп с полевой эмиссией катода (FESEM) JSM-7610F

для анализовс цифровой камеройультравысокое разрешение

JSM-7610F - это сканирующий электронный микроскоп Шоттки с ультравысоким разрешением и полулинзовым объективом. Оптика высокой мощности может обеспечить высокую пропускную способность и высокую производительность анализа. Он также подходит для анализа с высоким пространственным разрешением. Кроме того, режим щадящего пучка позволяет уменьшить проникновение падающих электронов в образец, что дает возможность наблюдать его верхнюю поверхность, используя энергию нескольких сотен приземлений. Высокое разрешение изображения и высокая производительность анализа благодаря полулинзовой объективной линзе JSM-7610F сочетает в себе две проверенные технологии - электронную колонну с полулинзовой объективной линзой, которая обеспечивает высокое разрешение изображения при низком ускоряющем напряжении, и внутрилинзовый ФЭГ Шоттки, который может обеспечить стабильный большой ток зонда - для обеспечения сверхвысокого разрешения при широком диапазоне токов зонда для всех применений (от нескольких пА до более чем 200 нА). Внутрилинзовый ФЭГ Шоттки представляет собой комбинацию ФЭГ Шоттки и первой конденсорной линзы и предназначен для эффективного сбора электронов с эмиттера. Визуализация верхней поверхности при низком ускоряющем напряжении с помощью режима Gentle Beam (GB) Режим Gentle Beam (GB) прикладывает отрицательное напряжение к образцу и замедляет падающие электроны непосредственно перед тем, как они облучают образец, таким образом, разрешение улучшается при чрезвычайно низком ускоряющем напряжении. Поэтому 7610F позволяет наблюдать верхнюю поверхность на несколько сотен эВ, которые было трудно наблюдать обычным способом, и непроводящие образцы, такие как керамика, полупроводники и т.д.