Обзор
Ось линейного двигателя с движущимся магнитом (блок катушки с измерительной головкой неподвижен, а магнитная дорожка перемещает каретку с измерительной системой)
Для позиционирования оптики
Требования
Использовать в чистых помещениях ISO класс 100 - нет абразивного износа или износа кабелей
Использование в 3-сменном режиме по 7 дней в неделю
Очень высокая механическая точность
Температурная стабильность: 22°C ±2°
Реализация
Общие рециркуляционные линейные шарикоподшипники для всех направляющих
Материал основания выбирается в соответствии с коэффициентом теплового расширения направляющей
Конструкция и приводы смещены друг от друга - для оптимизации общей длины
Спецификация
Ускорение: макс. 3.000 мм/с
Скорость: 400 мм/с
Погрешность высоты на слайде: ≤1 мкм
Боковая ошибка на слайде: ≤1 мкм
Максимальная погрешность высоты слайдов друг к другу: 100 мкм
Макс. ошибка качения, ошибка рыскания, ошибка люфтинга: ≤±100 мкр
Инсульт: 50 мм (возможно больше)
Система измерения разрешения: 0,05 мкм (50 нм)
Воспроизводимость в направлении движения: <0,5 мкм
---