Прибор для измерения напряжение Octiv Suite 2.0 VI Probe

пер. токаимпедансаРЧ

Радиодиагностика Octiv Suite RF (VI зонд) представляет собой систему диагностики напряжения, тока, фазы, гармоник и плазмы в линию. Он может измерять все параметры мощности РЧ, разбивать их на отдельные компоненты и реконструировать волновую форму нескольких основных частот одновременно. Эта передовая система может также измерять параметры плазмы, такие как поток ионов, используя ВЧ-электрод в качестве датчика. Octiv Suite действительно принадлежит к собственному классу, когда речь идет о подаче энергии в плазменный реактор. Набор Octiv Suite измеряет напряжение, ток, фазу, импеданс и гармоники, и измерения можно просматривать с ПК или непосредственно на измерительном приборе. Система радиочастотной диагностики Octiv Suite RF (VI Probe) позволяет пользователям измерять несколько основных частот и извлекать всю информацию о гармониках каждого параметра, измеряемого одновременно, воссоздавая несколько осциллограмм Octiv Suite - это уникальная передовая технология, позволяющая ученым оценить комплексную взаимозависимость РЧ-параметров в таких областях, как производительность плазменного процесса. Набор Octiv Suite измеряет и отображает сложную форму сигнала. Программное обеспечение извлекает и анализирует ключевые РЧ параметры, такие как напряжение, ток и фазу всех сложных компонентов, составляющих форму сигнала. Радиодиагностика Octiv Suite RF (VI зонд) может использоваться для диагностики параметров плазмы, таких как ионный поток, сопротивление плазме и нелинейное сопротивление оболочки. Набор Octiv Suite характеризует нелинейные нагрузки с несколькими основными частотами, высокими гармоническими составляющими и интермодуляцией.