Вогнутое зеркало SHARPeR

с большой точностью

SHARPeR - это проект Eurostars, целью которого является разработка новой высокоточной автоматизированной метрологической платформы для создания высококачественных оптических компонентов, необходимых, например, для синхротронных линий пучка, литографических систем EUV и телескопов. Рентгеновские зеркала метрового масштаба будут характеризоваться погрешностью погрешности наклона более 50 млн. среднеквадратических значений. Система будет включать три основных элемента: - Высокоустойчивая и воспроизводимая платформа с поворотными и наклоняемыми столиками - Высокоточный датчик с волновым фронтом и абсолютной точностью λ/1000 об/мин - Усовершенствованный алгоритм сшивания для получения высокоточных результатов Новый сверхточный датчик волнового фронта Shack-Hartmann интегрирован в оптическую головку в сочетании со специальной платформой движения для создания 2D карт уклона/высоты. Испытываемая поверхность может быть ориентирована горизонтально или вертикально в соответствии с реально используемой конфигурацией. Клиенты могут задавать как продольные (направление сканирования), так и поперечные диапазоны перемещения для расширения диапазона характеристик. В качестве опции, оси вращения и наклона наконечника могут быть добавлены к системе перемещения. Это позволяет пользователю автоматически переворачивать тестируемый оптический компонент, не мешая измеряемой среде ручными помехами.