Рентгенофлуоресцентный спектрометр FISCHERSCOPE® XDV-µ® WAFER

для измеренийавтоматическийавтоматизированный

Передовые технологии для работы с пластинами. Специальное оборудование для автоматизированных измерений тонких пленок и многослойных систем на пластинах диаметром от 6 до 12 дюймов. Fischer DPP+ ¹ для высочайшей точности даже при коротком времени измерения Поликапиллярная оптика собственного производства² с наименьшим размером пятна 10 мкм (FWHM) Автоматическое распознавание изображений для надежного измерения малых структур Отвечает всем требованиям для точного контроля пластин. Благодаря программируемому измерительному столу с вакуумным вафельным патроном и микрофокусной трубкой Ultra, FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER оптимально соответствует потребностям полупроводниковой промышленности. Поликапиллярная оптика, встроенная в прибор XRF, концентрирует рентгеновское излучение на мельчайших измерительных пятнах размером 10 или 20 мкм, что обеспечивает короткое время измерения при высокой интенсивности. Это позволяет анализировать отдельные микроструктуры гораздо точнее, чем с помощью обычных приборов - и полностью автоматизировано. Полностью интегрированное решение. XDV®-μ SEMI в сочетании с обработчиком пластин по вашему выбору Точность и прецизионность. Позиционирование точки измерения на небольших структурах благодаря автоматическому распознаванию изображений Решение любых задач. Надежные и быстрые результаты для амбициозных измерительных задач Полная автоматизация. Пусть ваш прибор работает на вас одним щелчком мыши Самая передовая поликапиллярная оптика на рынке. Наша поликапиллярная оптика собственного производства обеспечивает превосходные результаты измерений при коротком времени измерения Цифровой импульсный процессор DPP+. Сокращение времени измерения или улучшение стандартного отклонения*