Инфракрасный микроскоп C10506-05-16

для контроляинвертированныйближний ИК-спектр

Микроскоп с перевернутым излучением представляет собой систему анализа с обратной стороны, предназначенную для определения мест возникновения неисправностей путем обнаружения света и тепла, излучаемых от дефектов полупроводниковых приборов. Обнаружение сигнала с обратной стороны облегчает использование измерительной и зондовой карты на поверхности полупроводниковой пластины, а настройка образца может быть выполнена плавно. Платформа, позволяющая монтировать несколько детекторов и лазеров, позволяет выбирать оптимальный детектор для выполнения различных методов анализа, таких как анализ светового излучения и тепловыделения, анализ ИК-ОБИРКХ и других; кроме того, позволяя проводить динамический анализ эффективно с помощью подключения тестера. ФЕМОЗ-ДД Подключение непосредственно к тестеру LSI позволяет снизить задержку сигнала из-за длины соединительного кабеля, а также проанализировать образцы высокоскоростного вождения. Прямая стыковка специального пробера позволяет прикрепить иглу с несколькими штырями к 300-миллиметровым пластинам, а с дополнительной опцией можно проводить анализ пакетов, а также прикрепить иглу с помощью манипулятора. Особенности - Две сверхвысокочувствительные камеры, монтируемые для эмиссионного и теплового анализа - Монтаж лазеров с длиной волны до 3-х волн и источника света для ЭОП - Мульти-платформа, способная монтировать несколько детекторов - Высокая чувствительность макрообъектива и до 10 линз, подходящих для каждой длины волны чувствительности детектора Варианты - Включает в себя систему лазерного сканирования - Эмиссионный анализ с высокочувствительной ближней инфракрасной камерой - Тепловой анализ с высокочувствительной среднеинфракрасной камерой - ИК-ОБИРАХ-анализ - Динамический анализ с помощью лазерного излучения - анализ зондовых измерений - Анализ высокого разрешения и высокой чувствительности с использованием NanoLens