Максимальная средняя мощность (длительная)
15000 W
Минимальная средняя мощность
500 W
Эквивалентная мощность шума
15 W
Спектральный диапазон
0,193 - 20 μm
Типичное время нарастания
15 s
Неопределенность калибровки мощности
±5 %
Повторяемость
±2 %
Обратные отражения
2 - 4 %
Линейность с мощностью
±2 %
Линейность пр. диаметра луча
±1 %
Линейность пр. положения луча
±1.0 %