Растворитель для очистки

для отходов после гравировки

Обзор
Водные пост‑etch очистители, предназначенные для удаления остатков травления с алюминия, меди и передовых металлических сплавов, антибликовых покрытий, SiO2 и ультра low‑k диэлектриков. Разработаны для интеграции в BEOL (back end of line) процессы микроэлектроники и совместимы с распространёнными spray и batch инструментами. Производство и проверка чистоты выполняются на предприятиях в США и Азии.

Применение

• Удаление остатков после травления
• Очистка металлизации из Al и Cu и передовых металлических сплавов
• Очистка антибликовых слоёв (ARC), SiO2 и ультра low‑k диэлектриков
• Интеграция в BEOL технологические потоки (совместимость со spray и batch инструментами)

Ключевая информация

• Тип химии: водная
• Основное применение: очистка после травления и помощь в сушке
• Совместимость с процессом: BEOL (back end of line)
• Совместимые материалы: Al (алюминий), Cu (медь), передовые металлические сплавы, антибликовые покрытия, SiO2, ультра low‑k диэлектрики
• Совместимость с инструментами: spray и batch
• Смывка: совместимы с прямой промывкой ультрачистой водой (снижение потребности в растворителях)
• Варианты продукта: классы по типу травления; опции с поверхностно‑активным веществом или без
• Упаковка: бутылки 4L ×4, барабаны 200L (одноразовые или возвратные), контейнеры 1000L (одноразовые или возвратные), поставка навалом (при наличии)
• Производитель: FUJIFILM — производится и проверяется по показателям чистоты в США и Азии

Технические характеристики

• Химия: водная формула (конкретный состав зависит от класса)
• Типичные применения: удаление остатков после травления, предподготовка перед металлизацией или осаждением диэлектрика, поддержка процесса сушки
• Совместимость с материалами: Al, Cu, передовые сплавы, ARC, SiO2, ультра low‑k
• Интеграция в процесс: подходит для BEOL инструментов в конфигурации spray и batch
• Варианты поставки и упаковки указаны выше
• Контроль качества: регулярная проверка чистоты с использованием продвинутых аналитических методов