Компания FLP Microfinishing разработала собственную серию станков для CMP-полировки полупроводниковых пластин, предназначенных для использования в полупроводниковой промышленности. Новый FLP Wafer 1700 nano - это станок для двусторонней полировки пластин.
Впервые в этом станке установлены химически стойкие гранитные полировальные круги, которые непрерывно управляются с помощью сервоприводов. Они обеспечивают очень высокую точность обработки инструмента.
Помимо простых кремниевых пластин, на станке можно обрабатывать арсенид галлия, карбид кремния, сапфир и другие подложки.
---