BAG402
Манометр среднего и сверхвысокого вакуума
Одноместный манометр горячих ионов INFICON Bayard-Alpert BAG402 охватывает широкий диапазон измерений от 5×10-10 мбар до 2,7×10-2 мбар (3,75×10-10 Torr до 5×10-2 Torr). Выберите INFICON BAG402 для доступного и воспроизводимого процесса измерения давления на базе компактного активного манометра. Уникальные, поддерживаемые двойные нити обеспечивают превосходную точность, долговечность и долговечность.
Преимущества
Диапазон измерений от 5×10-10 мбар до 2,7×10-2 мбар (3,75×10-10 Torr до 5×10-2 Torr)
Отличная воспроизводимость в диапазоне давлений процесса от 10-8 ... 10-2 мбар от 5%
Обнаружение избыточного давления защищает нить от преждевременного выгорания
Две долговечные нити иридия с покрытием из оксида иттрия
Автоматический выбор тока эмиссии снижает сложность управления
Легкозаменяемый сенсорный элемент с бортовыми калибровочными данными гарантирует высокую воспроизводимость
соответствие RoHS
Типичные применения
Измерение давления в полупроводниковых технологических и трансферных камерах
Промышленное покрытие
Общее измерение и управление вакуумом в диапазоне от низкого до сверхвысокого вакуума
---