BPG402
ATM к ультра-высокому вакуумному манометру
Комбинированный манометр INFICON Bayard-Alpert Pirani, BPG402-S, функционирует как два манометра в одном компактном приборе с измерением от 5×10-10 мбар до атмосферы (3,8×10-10 Torr до атмосферы). Сочетание технологий снижает сложность установки, настройки и интеграции. Выберите BPG402-S с двумя нитями иридия с покрытием из оксида иттрия для доступного и воспроизводимого процесса измерения базового давления в одном экономичном пакете. Чувствительные элементы со встроенными калибровочными данными гарантируют высокую воспроизводимость при замене датчиков.
Преимущества
Чрезвычайно широкий диапазон измерений от 5×10-10 мбар до атмосферы (3,8×10-10 Торр до атмосферы)
Отличная воспроизводимость в диапазоне давлений процесса от 10-8 ... 10-2 мбар от 5%
Блокировка Пирани защищает нити от преждевременного выгорания
Две долговечные нити иридия с покрытием из оксида иттрия
Опциональный графический дисплей и интерфейсы Fieldbus
Автоматическая регулировка высокого вакуума Пирани снижает вмешательство оператора
Легкозаменяемый сенсорный элемент с бортовыми калибровочными данными гарантирует высокую воспроизводимость
соответствие RoHS
Типичные применения
Измерение давления в полупроводниковых технологических и трансферных камерах
Промышленное покрытие
Общее измерение и управление вакуумом в диапазоне от низкого до сверхвысокого вакуума
---