Координатный стол XY EZ-0745-ZC

Zротационныйс воздушным амортизатором

Ось ZC с пневматической опорой EZ-0745 предназначена для встраивания в XY-станок (например, EZ-0715). Благодаря высокоинтегрированной конструкции требуется лишь небольшая габаритная высота (около 138 мм). Угол поворота ограничен ±3°. Высокая повторяемость ±1,5 мкрад обеспечивает очень точное выравнивание подложки. Ось Z фиксируется от поворота с помощью двух пневматических подшипников и динамически приводится в движение двумя противоположными звуковыми катушками. Для снижения веса встроен пневматический цилиндр с воздушным подшипником. Возможна индивидуальная настройка хода оси Z в соответствии с требованиями заказчика.