Шариковые клапаны глубокого вакуума серии DCL широко использованы для оборудований продукции панели кремния в индустрии солнечной энергии и индустрии полупроводника. Клапаны можно использовать для давления трубы от 105Pa к 1.3*10-4Pa с нул утечками. Электрический силовой привод можно модулировать с располагать error<1%, видами входных сигналов, как 4-20mA, 1-5V, 2-10V, и может быть выбран и откалибрирован клиентом.
Электрический силовой привод
Тип: Включеный-выключеный или модулирующ с сигналом вход-выхода 4-20mA
Ручное преодоление автоматики с колесом разводного гаечного ключа или руки
Сразу установка с multi фланцом ISO5211